
Manual Probe Probestation
(A) 본체 프레임
(1) 주 척 척 크기: 40mm
니켈 도금 진공 척
다중 진공 포트: 최대 40mm
(2) 장치 전송
이동 X,Y: 200mm × 200mm 이동 Z: 10mm 플래튼 Z 상하: 20mm
(3) 스코프 트랜스포트
이동 X,Y: 30mm × 30mm
(4) 핫 척 모듈 : 온도 범위: 10 ℃ ~ 150 ℃ 히터: 플레이트 히터
(5) 정밀 온도 조절 컨트롤러
(a) 온도 컨트롤러 DC 입력: 12 ~ 24V / 10 A
양극 출력: 0 ~ 21V / ±10 A
상단 측면 온도 센서: PT-100
온도 탐침: Pt100, Pt1000, NTC, VIN, K형 온도 정밀도: < 0.05 ℃
고속 온도 변조 소프트웨어 통신: RS485, USB
(b) 온도 센서 PT-100 백금 센서 리드 와이어: 4개의 와이어
WQL-36, 1.5m, 테프론 절연 센서 장착 홀더 재료: OFHC
(B) 디지털 현미경 CCD 카메라(소니) C-마운트 어댑터: 0.5배 줌: 0.7 ~ 4.5배
전체 배율: 최대 100배 13인치 모니터
척 서포터: M3 알 서포터
(C) DC 마이크로 포지셔너 모델: PS-01
크로스 롤러형 여행 X, Y, Z: 12.5mm 마그네틱 스위치 베이스 프로브 홀더: DC 수량: 4EA
(D) RF 마이크로 포지셔너(RF-01) 크로스 롤러 타입
이동 X,Y,Z: 12.5mm 여행 세타: 15°(틸트 15°) 프로브 홀더: GSG 프로브 마그네틱 스위치 기본 수량: 2EA
(E) RF 프로브
모델: 40A-GSG-150-DP DC ~ 40GHz
Female 1.85mm 커넥터
금이나 구리 패드를 위한 BeCu 팁 수량: 3EA
(F) 보정 키트
모델: CS-105 트림 보정 기판
(G) 오일리스 진공 펌프 유량: 최대 16.5LPM 압력: 6kgf/m ³ : 최대 진공: -650 mmHg
(H) 다크 쉴드 박스
크기: 900(W) × 750(D) × 800(H) mm
재질: 강철 (색상: 검정)
LED 조명 및 스위치
(I) 방진표
격리 크기: 900(W) × 750(D) 총 크기: 1,000 × 800 × 750 mm 3 자동 레벨 제어
유형: 공압 지원 시스템
색상: 검정
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